茂德工安意外 台日工程師2傷

機台測試 氫氟酸噴濺

〔記者／綜合報導〕國內知名光電大廠茂德科技中科廠，2名工程師昨日進行機台送水測試時，遭到氫氟酸噴濺，日籍工程師北川直樹臉部受傷，台籍工程師林家鋒則有吸入性嗆傷、手部也接觸到少量氫氟酸，雖無立即危險，不過，氫氟酸會慢慢破壞人體組織，2人仍留院觀察。

勞委會中區勞動檢查所表示，茂德違反勞工安全衛生設施規則，已予以警告。茂德科技副總曾邦助則強調，此次工安意外對生產線運作並不會有任何影響，出事原因會再進一步調查。

勞委會勞工檢查處處長傅還然表示，2名工程師在裝設2部蝕刻機機台時，A機台已經裝設完畢、進行測試時，因為A、B機台源頭開關標示錯誤，在打開標示為A的開關（實質開的卻是B開關），氫氟酸液體正好送入B機台，噴濺而出導致這場意外。

傷者北川直樹（24歲）、林家鋒（29歲）是茂德協力廠商迪恩仕設備公司的工程師，近日到廠房安裝清洗晶圓的2台機台，昨日工程師進行其中1台機台送水測試時，不慎遭到少量氫氟酸噴濺。

台中縣消防局大雅分局局員陳立倫說，他們抵達現場時，茂德已將傷者用「葡萄糖酸鈣」解毒性藥膏塗抹傷處，他們在送醫過程中，也儘量保持通風，並讓患者傷處不要受到感染，一路奔馳到台中榮總不到10分鐘。

反應極快 自行沖冷水

目擊者表示，2名工程師都穿防護衣，日籍工程師反應極快，當下斷定遭受化學藥劑噴濺，旋即沖水半小時。台中榮總毒物科主任洪東榮表示，傷者到院前的急救措施值得稱許，經救治後，目前2名工程師已暫無大礙，並轉至普通病房住院觀察。

根據勞委會的統計指出，92年至今，一共發生了7件高科技廠有害氣體洩漏、造成多名員工傷亡的事故，其中，大部分都是氫氟酸、矽甲烷、砷化氫等，容易造成中毒、火災爆炸的高危害物質。

茂德 中科首家DRAM廠

茂德科技公司中部科學工業園區台中基地「第二座12吋晶圓廠─晶圓三廠」 ，94年11月15日落成啟用，代表該公司跨越90奈米製程量產世代。

該公司預估，12吋晶圓三廠產能規模在今年第三季時，將達每月3萬片，可推升的位元成長率高達80%，量產成果可奠定製程技術提升，並帶動量產規模經濟效益的競爭優勢；晶圓三廠今年第四季，製程技術將全線提升至70奈米，明年初達滿載月產能4萬片。

茂德科技是第一家進駐中科的動態隨機存取記憶體（DRAM）廠商，12吋晶圓三廠總投資額1000億新台幣，動工興建時是全球最大的12吋晶圓廠，佔地面積12公頃。（記者謝鳳秋）

新聞辭典-氫氟酸

原來是氣體的氟化氫，溶於水後成為1種強酸，就是氫氟酸。英國學界研究顯示，火葬時燃燒的棺木，也會產生氫氟酸等有害氣體。

彰化師範大學物理研究所博士班研究生吳天全指出，氫氟酸的活性很強，可與水、鈣、鎂、矽等產生劇烈化學反應，反應過程還會產生高溫。最恐怖的是接觸到人體肌膚時，不會有明顯灼痛感，但會滲透皮膚，甚至與骨骼內的鈣質產生反應，日積月累會衍生皮膚與骨骼病變。

目前使用氟化氫或氫氟酸的行業，主要有半導體業以氫氟酸做為清洗劑、玻璃蝕刻業以氫氟酸做為蝕刻劑、鋼鐵業使用氫氟酸做為表面除鏽劑、石化業以氟化氫做為催化劑、清潔服務業以氫氟酸做為污物腐蝕清洗劑、或做為外牆清洗劑。

氫氟酸平均容許濃度為8小時3ppm，吸入時會刺激鼻、咽、眼睛及呼吸道，高濃度蒸氣會嚴重灼傷唇、口、咽及肺，只要在50ppm濃度下暴露數分鐘即可能致死；如果是皮膚接觸其氣體或無水液體，在濃度不高的狀況下，幾個小時後，就可能出現深度皮膚灼傷。（記者張瑞楨、廖千瑩）